HoribaSTECマスフローコントローラ
半導体製造装置のキーデバイス 
HoribaSTEC
アプリオリは１９８３年より正規販売代理店としてご愛顧を賜っております。
ＭＦＣは、スタンダードテクノロジー・エステック・堀場エステックと変化しながら進化してきました。
現在では世界標準と云われる程の採用実績と評価を得ています。アフターサービスも完璧です。
堀場エステックは、分析計メーカーの堀場製作所のラジカルな科学技術力とのコラボレーションで、様々なアプリケーションに対応する計測制御機器を開発しています。
真空計測・プラズ計測制御・・・。マスフローコントローラを含め、さらに多種多彩な流体制御機器で世界No.1メーカーを目指しています。
ＭＦＣは、スタンダードテクノロジー・エステック・堀場エステックと変化しながら進化してきました。
現在では世界標準と云われる程の採用実績と評価を得ています。アフターサービスも完璧です。
グローバルスタンダードMFC
堀場エステックでは、ガスや液体の流量制御、液体の気化、製造装置内の真空計測など、半導体製造工程に必要不可欠な機器を提供しております。
その性能が半導体の品質を左右するため、どれも非常に高い品質と技術力が求められます。これらの分野で堀場エステックは高いシェアを有しており、特に流体制御機器「マスフローコントローラ」では世界トップの地位にあります。
堀場エステックでは、ガスや液体の流量制御、液体の気化、製造装置内の真空計測など、半導体製造工程に必要不可欠な機器を提供しております。
その性能が半導体の品質を左右するため、どれも非常に高い品質と技術力が求められます。これらの分野で堀場エステックは高いシェアを有しており、特に流体制御機器「マスフローコントローラ」では世界トップの地位にあります。
■■■デジタル/アナログ通信モデル
■■■デバイスネット通信モデル
■■■プロフィバス通信モデル・DC24V駆動、電流/電圧制御モデル
様々なアプリケーションでＳＴＥＣテクノロジーがイノベーションを実現しています。
精度精密膜流量計
SF-1U & 2U
この膜流量計は、ガラス体積管内に石鹸膜（ｼｬﾎﾞﾝ玉）を張り、その膜の上昇ｽﾋﾟｰﾄﾞを計測することで、体積を計算するものです。オールマイティでは有りませんが、この膜流量計が、オンサイトで実施できる唯一の流量工学的機器です。
ガス（気体）流量較正の基本中の基本原理を、容易に実現できる優れものです。
ガス（気体）のキャリブレーション（流量較正）は、容易ではありません。マスフローコントローラと称した製品は多くのメーカーからリリースされていますが、その精度の信憑性に疑わしい製品が多々御座います。ご注意下さい。製品の信頼性を見抜くには流量較正の現場を見るが肝腎です。
SF-1U & 2U
この膜流量計は、ガラス体積管内に石鹸膜（ｼｬﾎﾞﾝ玉）を張り、その膜の上昇ｽﾋﾟｰﾄﾞを計測することで、体積を計算するものです。オールマイティでは有りませんが、この膜流量計が、オンサイトで実施できる唯一の流量工学的機器です。
ガス（気体）流量較正の基本中の基本原理を、容易に実現できる優れものです。
ガス（気体）のキャリブレーション（流量較正）は、容易ではありません。マスフローコントローラと称した製品は多くのメーカーからリリースされていますが、その精度の信憑性に疑わしい製品が多々御座います。ご注意下さい。製品の信頼性を見抜くには流量較正の現場を見るが肝腎です。
プラズマエミッションコントローラ RU-1000
堀場エステックは、分析計メーカーの堀場製作所のラジカルな科学技術力とのコラボレーションで、様々なアプリケーションに対応する計測制御機器を開発しています。
真空計測・プラズ計測制御・・・。マスフローコントローラを含め、さらに多種多彩な流体制御機器で世界No.1メーカーを目指しています。
バナースペース
アプリオリ株式会社
〒101-0021
東京都千代田区外神田 5-3-1
秋葉原OSビル9F
TEL 03-5812-0851
FAX 03-5812-0831