半導体 |
水処理 |
飲料食品 |
製薬 |
100 Morse Street Norwood, MA 02062, USA |
半導体・ 製薬・ヘルスケア・食品等、あらゆる産業の洗浄・殺菌・成膜プロセスに特化したエキスパート
オゾン関連機器とエンドポイントディテクターのINUSA
シンプルで高性能 End-Point Detectors
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チャンバークリーニングの終点を検知し クリーニングサイクルを最適化! SiO2+NF3=SiF4+O2 SiF4(Silicon-Tetra-Fluoride)の吸光度が ゼロになるポイントをモニタリング! 各種クリーニングガスに対応 ・NF3 ・CLF3 ・F2 ・O2 |
インライン オゾン モニター
オゾンガス濃度モニター 溶存オゾン濃度モニター 超低濃度ppbオゾン濃度モニター
IN USA
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High Concentration Ozone Analyzers オゾン アナライザー |
Ambient/ Safety Analyzers 環境オゾン アナライザー |
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Air Cooled Ozone Generators 高純度高濃度オゾ発生機 |
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Water Cooled Ozone Generators 高純度高濃度オゾン発生機 |
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Ozone Delivery Systems 高純度オゾン発生供給装置 |
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Ozone Test Chambers オゾンテストチャンバー |
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Ozone Destruct Systems オゾン破壊機 |
Hydrogen Peroxide Anlyzer 過酸化水素 アナライザー |
IN USA Inc.