Dual Optical Path Sensing Technology (US Patent)
デュアル オプティカル パス センサー



   OZONE オゾン   イン ユーエスエーはUV吸光式オゾン濃度センサーの専門企業です           

semiconductors
半導体
  water treatment
水処理
bottled water
飲料食品
Pharmaceuticals
製薬

100 Morse Street
Norwood, MA 02062, USA


半導体・ 製薬・ヘルスケア・食品等、あらゆる産業の洗浄・殺菌・成膜プロセスに特化したエキスパート
オゾン関連機器とエンドポイントディテクターのINUSA


  シンプルで高性能 End-Point Detectors   




エンド ポイント ディテクター OPTI Sense

 
チャンバークリーニングの終点を検知し
クリーニングサイクルを最適化!


SiO2+NF3=SiF4+O2
SiF4(Silicon-Tetra-Fluoride)の吸光度が
ゼロになるポイントをモニタリング!
各種クリーニングガスに対

  ・NF3
   ・CLF3
 ・F2
 ・O2


インライン オゾン モニター

            

      オゾンガス濃度モニター     溶存オゾン濃度モニター    超低濃度ppbオゾン濃度モニター

IN USA



 



High Concentration Ozone Analyzers
オゾン アナライザー 
  Ambient/ Safety Analyzers
環境オゾン アナライザー 
  Air Cooled Ozone Generators
高純度高濃度オゾ発生機 
  Water Cooled Ozone Generators
高純度高濃度オゾン発生機
 







Ozone Delivery Systems
高純度オゾン発生供給装置
 


Ozone Test Chambers
オゾンテストチャンバー
 



Ozone Destruct Systems
オゾン破壊機
 
Hydrogen Peroxide Anlyzer
過酸化水素 アナライザー



IN USA Inc.